Online seminář – Klíčová role iontových svazků v mikroelektronice
Katedry fyziky vás srdečně zve na online seminář doc. A. Mackové, který se bude konat ve čtvrtek 20. května 2021 od 13:00 h. na téma “Klíčová role iontových svazků pro aplikace v mikroelektronice, optice a senzorice”.
Anotace: Díky své všestrannosti je technologie iontových svazků atraktivní a běžně používanou metodou pro zabudování různých iontů do monokrystalické struktury ZnO a monokrystalů, případně nanostrukturovaného ZnO, inženýrství optických aktivních částic/defektů, vytváření povrchových nanostruktur a použití iontové litografie. Posledně jmenovaná technologie je dnes perspektivní v polovodičích i v oxidu grafenu. Oba tak odlišné materiály nacházejí své uplatnění ve snímacích a bionických aplikacích s funkcionalizací povrchů s využitím iontových svazků.