Čisté prostory CENAB – tam, kde vznikají technologie budoucnosti
V Centru nanomateriálů a biotechnologií (CENAB) se věnujeme celé řadě výzkumných směrů – mimo jiné také práci v laboratoři čistých prostor.
Toto pečlivě kontrolované prostředí minimalizuje množství prachových částic, což nám umožňuje připravovat struktury v mikro- a nanoměřítku pro pokročilé senzory, elektroniku, optické prvky nebo biomedicínské aplikace.
Naším výchozím bodem je často křemíkový wafer, na který pomocí spin coateru nanášíme tenké fotocitlivé vrstvy pro fotolitografii. Vzorování provádíme fotolitografickou maskou s přesným zarovnáním nebo přímým laserovým zapisovačem – obě metody umožňují tvorbu precizních struktur potřebných pro funkčnost finálního zařízení.
Pro nanášení kovových a dalších materiálů využíváme magnetronové naprašování. Kontrola kvality probíhá na rastrovacím elektronovém mikroskopu (SEM), který zobrazí detaily až v nanometrech, a na profilometru, jenž měří drsnost povrchu a tloušťku vrstev.
Čisté prostory jsou jen jedním z nástrojů, které v CENAB využíváme – ale bez nich by nevznikly mnohé technologie, jež dnes nacházejí cestu z laboratoře do praxe.
🎥 Podívejte se na video a objevte, jak z čistých prostor putují inovace do světa.
#scienceUJEP